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Erweiterter Gasmonitor IR-400 für die Kammerreinigungsendpunktüberwachung
Erweiterter Gasmonitor IR-400 für die Kammerreinigungsendpunktüberwachung
Produktdetails
IR-400 überwacht die Kammerreinigung während der Ablagerung in EchtzeitWaschen Endpunkt.Durch die Optimierung des Reinigungsprozesses reduziert der IR-400 die Reinigungszeit und den Gasverbrauch.Reduzierter Reinigungsgasverbrauch reduziert Schaden an der Kammer und erhöht die Lebensdauer aller Systemkomponenten
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