Intelligente Massenflussmessgeräte Kleinvolumenströmungsregler Massenflussmessgeräte für thermische Gase
Verwendung und Merkmale
Der Masse Flow Controller (MFC) dient zur präzisen Messung und Steuerung des Massenflusses eines Gases. Sie spielen eine wichtige Rolle in der Forschung und Produktion in der Halbleiter- und integrierten Schaltungsindustrie, der Spezialmaterialiendisziplin, der chemischen Industrie, der Industrie, der Medizin, *** und Vakuumleuchten. Typische Anwendungen sind: Elektronische Prozessgeräte wie Diffusion, Extension, CVD、 Oxidation, Plasmagravierung, Spritzen, Ioneninjektion; Beschichtungsanlagen, Faserschmelzen, Mikroreaktionsgeräte, Gasverteilungssysteme, Kapillarmessungen, Gaschromatometer und andere Analyseinrichtungen.
Haupttechnische Indikatoren
Messbereich (20,30,50,100,200,300,500)SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10)SLM
Genauigkeit +1,5% F.S.
Linear +0,5 ~ 1,5% F.S.
Wiederholungsgenauigkeit +0,2% F.S.
Reaktionszeit 10sec Gaseigenschaften: (1 ~ 4) sec
Arbeitsdruckdifferenz 0,1 ~ 0,5 MPa
Druckbeständigkeit 3Mpa 6Mpa 10Mpa
Arbeitsumgebungstemperatur 0 ~ 70 ℃
Digitale Menge RS485 MODBUS Protokoll
Analog DC 0 ~ 5V, 4 ~ 20mA optional
Elektrische Eigenschaften: SLM
Stromversorgung DC +15V/24V optional, Durchflussmesser <50mA, Controller <200mA
Elektroanschluss DB15
1×10 SCCSHe
Basismaterial 316L Edelstahl
Dichtungsmaterial Fluor, Butyl, Neopren
Luftwegverbindung Φ3, Φ6, Φ10, 1/8 ", 1/4", 3/8 "
Hinweis: Massenflussmessgeräte und Massenflussregler werden in der Regel in der Fabrik mit Stickstoff (N₂) kalibriert.
Die Einheit des Massenflusses ist: SCCM (Standard ml/min); SLM (Standardliter/min)
Intelligente Massenflussmessgeräte Kleinvolumenströmungsregler Massenflussmessgeräte für thermische Gase